普旭爪式泵都有哪些特點呢？你可知道？
更新時間：2020-06-24 瀏覽次數(shù)：1261
普旭爪式泵廣泛應(yīng)用于航空航天、石油、化工、煉化、電子、制藥、冶金、核能源、油氣回收、特殊氣體制造等行業(yè)，適用于真空蒸餾、分子蒸餾、真空鍍膜、抽提、重整、無泄漏氣體傳輸、真空制備材料等工藝，在普通大氣、富含水蒸氣、酒精、汽油、粉塵等特殊應(yīng)用環(huán)境都可工作。
普旭爪式泵是為半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展而研制的，它有如下特點：
1）泵腔內(nèi)無潤滑劑，因而無返油現(xiàn)象發(fā)生。
2）抽氣元件為非接觸式的可實現(xiàn)高速運轉(zhuǎn)（3000r/min）。
3）與泵抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損。
4）在泵腔內(nèi)氣流垂直運動，少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除。
5）該泵型式多樣，功能可以擴展，泵的主體，帶有齒輪、馬達以及氣體凈化設(shè)備，附件有入口處防返流的閥門，出口處有截流閥，電氣監(jiān)控及報警裝置。
6）齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑，上端蓋內(nèi)德軸承用PFPE油脂潤滑。
7）第二、三、四級均有凈化入口，以改善被抽介質(zhì)順利通過泵腔，無此需要的可以不用通凈化氣體，凈化氣體用三個流量計分別調(diào)節(jié)，相互都是獨立的，以保證節(jié)約惰性氣體，利用三個電磁閥可微調(diào)其流量。
8）入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷，出口處截流閥能將泵的出口封閉起來，將泵通以凈化氣體，這些閥可自動開關(guān)，真空系統(tǒng)有可靠得保護，杜絕了向真空室的返流。
9）電氣監(jiān)控與操作，主要有電源，遠距離操作和開關(guān)閥等的控制。
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